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1、测力称重传感器分为箔应变计,微电机系统 箔应变计具有体积较小,多种测量模式和温度补偿功能的优点。
2、 箔应变计生产成本低,安装方式灵活,既可安装在平坦、弯曲或有槽的表面,也可安装在内孔的表面,因而适合各种创新性的设计要求,这是目前应用最为广泛的选择。
3、 微电机系统(MEMS)是该领域的最新技术。
4、MEMS为蚀刻成梁柱形、隔膜形或板形的微型硅元件,可在测力元件内发挥传感器的功能。
5、与集成电路的制造工艺类似,MEMS也是通过整体和表面微加工技术制成。
6、 MEMS有集成电路的单晶片上加工数以千计的压力传感器元件。
7、 尽管这种传感器能够以极低的成本大批量生产,但与箔应变计相比,其应用范围仍很有限。
8、MEMS在医疗领域最常用于那些成本低、产量大(数百万以上)的一次性产品中,例如:一次性血压传感器和用于测量球囊导管压力的血管成形装置。
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