超精密定位音圈电机驱动控制系统(关于超精密定位音圈电机驱动控制系统简述)

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1、超精密定位系统中的定位运动主要根据微动台偏转角来补偿另一个方向的位置误差，并以最短的时间精确定位到目标位置。而音圈电机（VoiceCoilMotor，VCM）是一种基于洛伦兹力原理设计的直线电机，其具有结构简单、体积小、加速度高和响应快等特点，广泛应用于超精密定位系统中，在IC制造业中有广泛应用。

2、光刻机掩模台系统中音圈电机运动工况分为扫描运动和定位运动，其中扫描运动主要完成硅片曝光处理，该运动对定位精度以及速度稳定性有极高要求，在稳定基础上追求时间的优化。然而，在扫描运动过程中，频繁加减速对系统机械框架产生冲击，影响光刻机定位精度，因此，合理规划扫描运动轨迹至关重要。

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