超高真空磁控溅射及离子镀沉积设备(关于超高真空磁控溅射及离子镀沉积设备简述)

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1、超高真空磁控溅射及离子镀沉积设备是一种用于材料科学领域的计量仪器。

2、于2011年1月1日启用。

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