重掺磷直拉硅单晶的微缺陷研究(关于重掺磷直拉硅单晶的微缺陷研究简述)

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1、《重掺磷直拉硅单晶的微缺陷研究》是依托浙江大学。

2、由杨德仁担任项目负责人的面上项目。

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