远紫外光感光树脂(关于远紫外光感光树脂简述)

小伙伴们，你们好，今天小市来聊聊一篇关于远紫外光感光树脂，关于远紫外光感光树脂简述的文章,网友们对这件事情都比较关注，那么现在就为大家来简单介绍下，希望对各位小伙伴们有所帮助。

1、远紫外光感光树脂指对深紫外光敏感的感光树脂。

2、深紫外光指波长在25Llnnz左右的光线，能量较高，因此可供选择的树脂较多;目前使用较多的是丙烯酸酷衍生物，或者聚矾类树脂。

3、光的波长较短，作为光刻胶有利于提高分辨率。

4、但是对环境和使用的透光材料有较高要求，因此使用的仪器设备复杂昂贵』根据吸收光后发生光降解或光交联，也可以分成止性和负性深紫外感光树脂。

文章到此就分享结束，希望对大家有所帮助。